500万 青海大学大型科研仪器购置补贴专项(双光子三维光刻机)公开招标

序号

仪器名称

数量

单位

详细技术指标及配(附)件

1

双光子三维光刻机

1

套

1.双光子三维加工系统：

1.1气冷飞秒光纤激光器重复频率：80MHz ± 1MHz；

1.2平均输出功率：＞120ｍＷ；

1.3中心波长：780 nm ± 10 nm；

1.4样品运动系统：三维方向最大行程均为300μm的纳米位移台；

1.5二维加工系统最大行程：100mmx100mm机械运动台；

1.6光斑运动系统：最大扫描面积达到Ø=1 mm的二维扫描振镜；

1.7垂直方面最大行程：8mm的位移系统；

1.8全自动找界面系统：配置可以实时观测加工过程的高精度显微镜相机；配置可以用于无尘室的气浮光学平台；操作员控制台：XY方向以及Z轴方向运动控制器；配置能操控系统外设的电脑；配置适用于无尘室的不锈钢工作台，大小120 x 80 cm²；

2.光刻机透镜模组：

2.1最高精度的3D微纳加工套件：可使用镜头浸入式加工模式及普通油浸镜头加工模式；使用光斑扫描加工模式时最大单次加工面积为Ø = 200 ?m；浸入式镜头物镜3D SF； 63x；NA=1.4；

2.2中等精度的3D微纳加工套件：可使用镜头浸入式加工模式及普通油浸镜头加工模式；使用光斑扫描加工模式时最大单次加工面积为Ø = 400 ?m；浸入式镜头物镜3D MF； 25x；NA=0.8；

2.3介观尺度的3D微纳加工套件：可使用镜头浸入式加工模式及普通油浸镜头加工模式；使用光斑扫描加工模式时最大单次加工面积为Ø = 1,000 ?m；浸入式镜头物镜3D LF； 10x；NA=0.3；

2.4介观尺度的二维加工套件：可使用空气镜头以及光斑扫描加工模式，最大单次加工面积为Ø = 600 ?m；浸入式镜头物镜2D MF； 20x；NA=0.5；

3.整体设备技术指标：

*3.1横向最小三维线宽：<200nm；

*3.2横向最小二维线宽：<160nm；

*3.3结构垂直方向最佳分辨率（最小间隔）：≤1000 nm （投标时需提供合理的参数验证方式，并且在交货时，验证该项参数，无法验证或验证不合格将不予以验收）；

3.4结构横向最佳分辨率：500nm ；

3.5二维平面可加工范围：≥100mm×100mm；

3.6压电纳米三维移动工件台执行写入作业重复精度误差：<±10nm；

3.7振镜扫描模式最高写入速度：≥10mm/sec；

3.8监控：可对加工过程实时监控；

*3.9其他：安装培训时需现场加工一件4-5层横竖交错的木堆结构，其最上层木材单个宽度不大于200nm（投标时需提供合理的参数验证方式，并且在交货时，验证该项参数，无法验证或验证不合格将不予以验收）。