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《表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪的质量标的校准》意见征集
2020年06月22日 09:10:31
来源：化工仪器网 点击量：5004
飞行时间二次离子质谱技术是一种非常灵敏的表面分析技术，通过用一次离子激发样品表面，打出极其微量的二次离子，根据二次离子因不同的质量而飞行到探测器的时间不同来测定离子质量，是一种具有极高分辨率的测量技术。
【化工仪器网 政策标准】飞行时间二次离子质谱技术是一种非常灵敏的表面分析技术，通过用一次离子激发样品表面，打出极其微量的二次离子，根据二次离子因不同的质量而飞行到探测器的时间不同来测定离子质量，是一种具有极高分辨率的测量技术。
虽然飞行时间二次离子质谱技术被广泛应用于物理、化学、微电子、生物、制药、空间分析等工业和研究方面，但目前该类仪器质量标的校准，既没有行业标准也没有国家标准，各检测实验室均采用自校验的方式校准该类仪器，技术要求、校验条件、校验项目、校验方法、校验结果的处理也各不相同。为此，制定《表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪的质量标的校准》势在必行。
中山大学测试中心一直以来从事表面分析相关技术的科研和分析测试工作，在仪器功能开发、硬件改造和数据格式开发等方面，取得了一定的成果。故而，《表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪的质量标的校准》是中山大学在国家标准化管理委员会的主管下，严格遵守GB/T 1.1-2009《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》和GB/T 20000.2-2009《标准化工作指南 第2部分：采用标准》中给出的规则和格式要求编写的。
阅读标准征求意见稿后可知，《表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪的质量标的校准》规定了一种优化用于一般分析目的的飞行时间SIMS仪器的质量校准准确度的方法，适用于飞行时间仪器，但不限于任何特定的仪器设计。此外，标准还提供了一些仪器参数的指导，且这些参数可以使用此程序进行优化，并且适用于校准质量标以获得质量准确度的通用峰的类型。
为提高二次离子质谱飞行时间二次离子质谱仪的质量准确度，《表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪的质量标的校准》中还对获取参考样品以进行优化、制备聚碳酸酯样品、获取SIMS谱数据、计算质量准确度、优化仪器参数等做了详细的介绍。
本标准的出台能为新型仪器的校准提供技术依据，并使得从事该类仪器检测工作的各类分析测试中心和实验室能够更好地为科研、社会、经济建设和发展提供客观、可比、有效的检测数据。为此，希望相关单位在仔细研核后标准征求意见稿后能提出建设性的意见，为标准的完善添砖加瓦。
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