电子级用水标准GB11446-1-89
化学指标单位: μg/L
等 级
项 目EW—ⅠEW—ⅡEW—ⅢEW—ⅣEW—Ⅴ
电阻率MΩ.cm.(25℃)18(最小17)15(最小12)10(最小8)≥2≥0.5
大于1μm微粒数 15 10100500
大于0.5μm微粒数 100300 50010002000
细菌个数,最大值 个/mL 15 1050100
总有机碳含量,最大值 50100 20010001000
二氧化硅总含量,最大值 220 501001000
氯含量,最大值 0.52 10100500
铜含量,最大值 0.22 550500
钾含量,最大值 0.55 101001000
钠含量,最大值 0 0.5 6 10200500
锌含量,最大值 0.22 10100500
铝含量,最大值 0.55 10 100500
铁含量,最大值 0.55 10100500
钙含量,最大值 0.55 10100500
内 容:
(限200字)
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