Screen FC-3100 湿法刻蚀设备

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来源：深圳市东测科技有限公司 2017年07月05日 11:24

通过加载高吞吐量缓冲模块及新运送模块，达成每小时650片的高产能。

为了提升更高的可靠性，FC-3100采用了将设备本体分割成7个独立模块，并进行组合的简单构造。

各模块均具有标准化的独立构造。
双清洗槽采用作为一个模块的紧凑型构造，令组装、调整、测试和安装均简单易行。

加载减压干燥系统“HiLPD”。

通过提供无载气氮气的高浓度IPA，从而达成大幅度抑制水痕的效果。
另外，通过高浓度IPA令表面张力迅速减小，防止模型崩塌。

DAD是一种新干燥技术，其采用露点极低的干燥空气吹拭晶圆，瞬间去除清洗后的水分。

其达成与以往用IPA同等的干燥性能所需处理时间可缩短一半※。
且运作成本至多可降低到八分之一※，也不会发生防染剂溶解。

因不使用IPA，故VOC排放量为零，是环保且安全的干燥技术。
※与本公司技术对比

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