NIKON FX-86S2 FPD曝光设备

对应第8代玻璃基板

大型面板制造的FPD曝光设备

FPD曝光设备 FX-86SH2/86S2

● 装载多镜头投影光学系统

装载了由多个投影镜头组成的多镜头投影光学

系统。在确保较宽的曝光范围的同时达到高分

辨率。

● 高产出

玻璃基板尺寸：2,200 mm × 2,500 mm

每小时587 片（46 英寸屏）

每小时378 片（55 英寸屏）

● 高分辨率

多镜头投影光学系统与尼康*的对焦控制系

统，使面板全域达到高分辨率。FX-86SH2 在

达到2.2μm（L/S）高分辨率的同时，确保

了较宽的实际使用的焦点深度。

● 高重合精度

增加了新的测长干涉仪轴，配以新设计的位置

测量系统，提高了测量的稳定性，实现了

±0.5μm 的高重合精度。

● 曝光性能的提高

以*技术开发的各种校准功能，从整体上使

曝光性能更加稳定。

特　点

融合了对应高精细面板的FX-67S和对应超大型玻璃基板的FX-101S的技术，实现

了高精细大型面板的生产。相比现有的第8代设备，缩短了节拍。FX-86SH2更是

实现了2.2μm高分辨率。

性　能

FX-86SH2 FX-86S2

Resolution (L/S) 分辨率2.2 μm (g+h+i-line) 3.0 μm (g+h+i-line)

Projection magnification 投影倍率1:1

Alignment accuracy 重合精度≦ ±0.5 μm

Maximum plate size zui大尺寸2,200 mm × 2,500 mm

Takt time 节拍49 sec./plate

条件: 2,200 mm × 2,500 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2