SC100系列匀胶机操作手册

 使用步骤

1.选择适合的片托，略小于样片尺寸，将缺口对准螺钉卡口，安装牢固。

2.开启电源

3.调节设置合适的匀胶时间转速步骤。支持100组每组100步的程序设置和存储调用。

4.放片，并保证样片处于载物盘正中心。

5.开启真空吸附，按下“真空”键开始吸附样片。注意：真空状态显示，支持真空报警，真空错误电机停止工作。（PE型配备实时真空数值显示）

6.程序设置完毕按“执行”键，电机旋转，速度加速度连续可调转速实时显示。转速时间曲线分析。

7.滴胶，动作要迅速，要在低转速时间内滴胶完毕。建议设置多步匀胶程序：低速滴胶高速匀胶。

8.电机停止后，停止真空吸附打开上盖取出样片。SC100系列有上盖保护功能，若匀胶过程中开启上盖，电机断电仪器自动停止工作。

9.匀胶工艺时间支持设置0-3000S，时间设置到0.1S。

10. 若继续匀胶重复以上步骤。

 注意事项

1.不同尺寸的样片选用不同尺寸的载物盘。支持定制合适尺寸的载物盘。

2.所用样片的尺寸要大于片托有效尺寸2-3mm左右；

3. 如果不慎胶被吸入了抽气室，要立即进行清理。SC100系列匀胶机*的不近胶不堵胶设计有效的解决了近胶堵胶问题，操作非常简单解决非常方便。

主要技术参数

SC100-SE高精密匀胶机主要性能指标：

主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）

旋涂程序：zui多可存100组程序，每组100步，每个步骤可到0.1秒

转动速度：0-10,000rpm（更高速可选）

旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）

马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm

转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm

工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec

支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圆晶）

旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）

SC100-SE高精密匀胶机产品特性优点：

的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。

7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。

on ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。

标准配置转速10000rpm，并可根据用户需要进行定制。

采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，生锈，便于清洗。

排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。

透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时*隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。

SC100-SE高精密匀胶机产品外型尺寸：

　　　　　433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标准设备结构
　　　　　306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可选分体结构