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日本电子软X射线发射光谱SXES

来源:东莞市协美电子有限公司   2015年06月25日 09:24  

软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)

软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度X射线CCD相机,实现了*的能量分辨率。 和EDS一样可以并行检测,并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的*能量分辨率进行分析,超过了WDS的能量分辨率。

0.3eV(费米边处Al-L基准)的*能量分辨率

开发设计的分光系统,不需移动衍射光栅或检测器(CCD)就能同时获取不同能量的谱图。而且由于能量分辨率很高,还可以采集状态分析分佈图
察。

软X射线发射光谱仪SXES
软X射线发射光谱仪SXES

SXES具有很高的能量分辨率

各种分光方法中氮化钛样品的谱图,即使在WDS分析中氮化钛的谱峰也發生重叠,需要采取去卷积的数学方法处理。如下图所示,SXES具有很高的能量分辨率。

锂离子二次电池(LIB)分析实例

能观察到LIB的充电量

软X射线发射光谱仪SXES
软X射线发射光谱仪SXES

充满电后Li-K样品的谱图

说明: 由于理论上的原因,氧化锂的检测很困难

轻元素的测试实例

SXES测试碳素化合物的实例

可以测试金刚石、石墨、聚合物的不同。

软X射线发射光谱仪SXES

各种氮素化合物的测试实例

氮素也可以根据波形分析化学结合状态。 硝酸盐和氮化物的波形*不同,还能观察到易受电子束损伤的铵盐的*波形。

 

软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer) 产品规格

能量分辨率0.3eV(Al-L 光谱图73eV处测试)
获取能量范围:衍射光栅JS50XL的能区50-170eV
获取能量范围:衍射光栅JS50XL的能区70-210eV
分光谱仪艙安装位置:
EPMA的WDS接口:NO.2接口(正面右侧)
FE-SEM的WDS接口(正面左后侧)
分光谱仪尺寸 W 168mm×D 348mm ×H 683mm
* 从接口包括CCD的距离
分光谱仪重量 25kg

适用机型

EPMA : JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM : JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F

 

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