尺寸

·                                 1250mm (长) x 780mm (深) x 900mm (高)

·                                 1500mm (长) x 780mm (深) x 900mm (高)

·                                 1800mm (长) x 780mm (深) x 900mm (高)

箱体参数

·                                 箱体主材质为304不锈钢

·                                 2个DN 40 KF 接头，包括1个标准电源接口

·                                 灰尘过滤器，1个安装在进气口，1个安装在出气口， H13级

·                                 PC材质的前窗玻璃（其它材质可选）

·                                 4mm厚的手套（其它尺寸和材质的手套可选）

·                                 POM手套孔圈，口径为220mm

·                                 前置式照明系统

·                                 搁物架高度可调(1000mm (长) x 220mm (深)

·                                 整体泄漏率 <0.05 vol%h (符合 ISO 10648-2标准)

·                                 自重 400/550 kg

大过渡舱参数

·                                 圆柱形结构，带有不锈钢滑盘

·                                 内径390mm，长600mm

·                                 304不锈钢材质结构

·                                 舱门，气动控制（气弹簧）

·                                 手动抽真空模式（自动模式可选）

·                                 整体泄漏率 <10^-5 mbar l/s

气体净化系统参数

·                                 单个净化柱

·                                 可得气体纯度 H₂O < 1 ppm, O₂ < 1 ppm

·                                 真空泵

·                                 电磁阀

·                                 自动再生功能

·                                 304不锈钢管路

控制器参数

·                                 集成式控制器

·                                 自动压力控制 (+15 mbar, -15 mbar)，带有脚踏板