电镜市基于超越光学的极限孕育而生的显微镜，今天和大家浅谈一下电镜制样的时候真空状态对电镜制样前的重要性，如下：

1654年5月8日，德国马德堡市市长奥托·格里克，把两个直径14英寸的空心铜半球紧贴在一起，用抽气机抽出球内的空气，然后用两队马向相反的方向拉两个半球。zui终用16匹马才将它们拉开，当马用尽了全力把两个半球zui后拉开的时候，还发出了很大的响声。这就是的马德堡半球实验。

马德堡半球实验不仅证明了大气压的存在，也让人们更直观地认识了真空。

托里拆利实验

真空定义

真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态。常用的真空度单位有帕斯卡（Pascal）或托尔（Torr）等。

真空特性

在真空环境下可以有效防止物质氧化,真空条件下可以制备更纯的表面涂层，高真空环境可以保证粒子长距离的自由移动。

电镜行业

正是由于真空的这些特性，电子显微镜的电子枪、样品室以及多种电镜制样设备（离子溅射镀膜仪、离子减薄仪等）都需要真空环境。

真空获得

通常用真空泵对一个封闭空间通过机械、物理或化学的方式进行抽气，从而获得并维持一个真空环境。真空泵按照工作原理可以分为气体输送泵和气体捕集泵，气体输送泵可分为变容真空泵（往复式和旋片式真空泵）和动量传送泵（分子真空泵、扩散泵、离子泵等）。大多数情况下我们需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气，才能满足更高真空度的要求。

真空测量

我们可以在真空装置上加装真空规来测量真空度。真空规按照测量原理的不同可以分为波尔登规、薄膜电容规、皮拉尼规、热电偶规、热阴极电离规、冷阴极电离规等。

真空影响

在真空泵正常工作，真空规正确测量的情况下，真空度还会受到真空室污染物、冷凝水、吸附气体、物质扩散、渗透以及泄漏等因素的影响。

如何保证良好的真空度？

• 在真空室内装配附件、更换样品以及进行维修保养工作时，务必穿戴干净的手套。

• 真空室内不得安放含有大量空隙或液体的材料，如泡沫板、含水样品等;工作结束后或进行工作之前，对真空室进行烘烤;

• 使用干燥的氮气破真空，替代含有水蒸气的空气;

• 缩短非真空状态的时间，尽可能使其保持真空状态。

参考文献：《Vacuum Technology Know How》或登录：www.pfeiffer-vacuum.net

盘点徕卡纳米技术真空相关制样设备

• EM TIC 3X三离子束切割仪

用于离子束无应力“切割”多层膜材料，软硬复合材料等高难度制备样品，可有效避免涂抹效应，不需要大量摸索条件即可获得理想的样品内部截面，适用于SEM观察或EBSD分析等。

• EM RES102 多功能离子减薄仪

主要用于对无机材料薄片样品进行离子减薄，适用于TEM样品制备；也可用于SEM样品离子束抛光，离子束刻蚀，样品表面氩离子清洗及斜坡切割。

• EM ACE200/600系列镀膜仪

用于对表面表面进行金属膜或碳膜沉积，实现样品导电化。EM ACE200是低真空镀膜仪，可选功能：离子溅射模式，碳丝蒸发模式，溅射-蒸碳双模式，辉光放电模式（用于铜网表面亲水化）。EM ACE600是高真空镀膜仪，可选功能：离子溅射模式，碳丝蒸发模式，碳棒（热阻）蒸发模式，电子束蒸发镀膜模式，双溅射模式，溅射-碳丝双模式，溅射-碳棒双模式，溅射-电子束双模式，双电子束模式，辉光放电模式（用于铜网表面亲水化），并且可兼容EM VCT100真空传输系统。

• EM BAF060冷冻断裂/刻蚀(复型)仪

用于生物或胶体化学中样品冷冻断裂/刻蚀/复型等系列制备。

• EM VCT100真空冷冻传输系统

用于实现真空传输/真空冷冻传输样品，可穿梭于不同制样（冷冻断裂/刻蚀，真空镀膜，离子束切割仪，冷冻超薄切片机等）和观察分析仪器（SEM，FIB，AFM，XPS等）。