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原子力显微镜(AFM)拼接缝合技术(Stitching)分析大尺寸表面

来源:北京亿诚恒达科技有限公司   2010年05月07日 11:50  
Nanite原子力显微镜测量模式: 接触式原子力显微镜,真正非接触式原子力显微镜,横向力/摩擦力显微镜(LFM),导电原子力显微镜,磁力显微镜(MFM),开尔文探针(Kelvin Probe),扫描热原子力显微镜(SThM),电容和静电力显微镜(EFM),的纳米光刻和纳米操作能力,音叉原子力显微镜,三维扫描成像。
 
摘要
本篇应用文章介绍了Nanosurf Nanite AFM脚本文件界面与Nanosurf报告专家分析软件结合的全自动拼接缝合技术特点。LCD面板上的AFM测量作为一个例子,演示如何拼接能够简单的得到大尺寸表面区域的高分辨率形貌图像。
 
介绍
高分辨率成像技术例如AFM常常会受制于他们的zui大扫描范围。当同时需要AFM高的侧向分辨率和一个大扫描范围时,图像拼接技术是一个解决方案。图像拼接常用于从批量制作的图片中生成一个单一的全景图像。在更*的操作中,这项技术也能被用于结合批量AFM测量生成单一大图像。因此,大尺寸表面区域的AFM图像,例如1 mm × 1 mm100 μm × 100μm大小,能被简单的得到。
 
Nanosurf Nanite AFM系统能全自动的测量和拼接所需要的图像。用户仅需要单个AFM图像大小和被测量区域的大小。然后AFM会执行好剩余的操作。测量完成后,图像被加载到Nanosurf Report Expert后处理软件中,然后一起被拼接成一个单一图像。这个图像仍然包含所有的精密测量数据,因此能像其他AFM图像一样具有所有的分析功能,包括高度和距离测量,粗糙度计算,颗粒和粒径分析,横截面分析,和3维成像功能。

 

1LCD面板的光学显微镜图像。范围:660 μm × 660μm使用Nanosurf easyScope 120倍放大得到。大的红色框围着的是一单个LCD像素。小的白色框对应的是AFM扫描范围能覆盖的区域。扫描结果见图2
 
 
2LCD面板典型的AFM扫描区域,在有限的扫描区域得到高分辨率的形貌数据。扫描范围74μm × 74μm,如图1中白色框所示。
 
 
3Nanosurf控制软件中运行的拼接脚本程序。红框显示了拼接对话框要求用户提供基本参数用于拼接处理。
 
 
图4:Nanosurf Report Expert软件中的拼接模块界面。简单但功能强大的命令允许任何人运行拼接程序,并得到专业的结果。
 
 
图5:一幅拼接好的AFM三维图像。这幅图(对应图4得到的拼接结果),200倍放大倍数,演示了使用Nanosurf Nanite B AFM和自动移动平台如何轻松获得高分辨率的三维数据。也演示了拼接结果是多么的严丝合缝。
 
 
图6:一个LCD面板的AFM拼接图像。这幅图(560μm × 570μm160倍放大倍率)10 × 10幅图像的结果,此结果是使用Nanosurf Nanite B AFM扫描记录和拼接,并运用了Nanosurf 控制和报告软件的拼接功能此结构在尺寸上与图1所示光学图片相近,但提供了更多的细节和三维数据。

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