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PECVD管式炉可使用1200度以下，以硅碳棒或电阻丝为加热元件，主要特点是分为上下两个半圆，在高温状态下需要急速冷却或换管子时，可以打开炉膛，观察物料在高温状态下烧结状态；双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温，炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料，该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。此款开启式管式炉也可以有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。
PECVD管式炉的主要特点：
1.气体预热——增加前端气体预热区，沉积速度更快，成膜效果更好；
2.AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控，协调控制——科探AIO控制系统；
3.管内压力自动平衡——管内压力实时监测，自动平衡管内压力。
4.智能气路通断——每路气体均可定时通断，省时省力；
5.射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间，自动运行；
6.炉膛移动速度可调——根据实验要求，用户可设定炉膛左右移动的速度可距离；
7.整机结构融为一体——移动方便，避免分散组装的困扰。
PECVD管式炉的使用安全性：
1、炉膛开启自动断电功能，使炉门打开后自动断电。
2、超温保护功能，当温度超过允许设定值后，自动断电及报警。
3、漏电保护功能，当炉体漏电时自动断电。以上功能确保了使用的安全性。
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