一 、实验目的
1.了解扫描电子显微镜的原理、结构;
2.运用扫描电子显微镜进行样品微观形貌观察。
二、实验原理
扫描电镜(SEM)是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒,成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是主要的成像信号。由电子枪发射的电子,以其交叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子发射以及背散射电子等物理信号,二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像。
三、实验仪器
日立S3400扫描电子显微镜(日本电子株式会社)
四、实验步骤.
1.样品的制备
2.仪器的基本操作
1)开启稳压器及水循环系统;
2)开启扫描电镜及能谱仪控制系统;
3)样品室放气,将已处理好的待测样品放入样品支架上;
4)当真空度达到要求后,在一定的加速电压下进行微观形貌的观察。
五、观察结果
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