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白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。
白光干涉仪该怎样选购呢?
(1)精度。精度高的白光干涉仪是较好的白光干涉仪。为什么这么说呢?这么说并非说白光干涉仪的其他功用不重要，咱们都知道任何一款电子衡器其构成结构多大同小异的，而许多产品不同只是用材的差异性，并非技能型的差异性。但精度这个不是单独用材就能够处理的，它是一款白光干涉仪的规范，因而也决定其价格。
(2)灵敏度。针对大部分用户来说，选购白光干涉仪批量的用户大多是企业的收购方;而企业要用来进行大规模的称重作业天然要以节省时刻为主。
(3)安稳性。一个白光干涉仪能够不把安稳性放在位，那并不代表安稳性不重要，只能说先要满足以上两条，那么这个秤的安稳性才具有意义。一旦以上两条都满足了，那么安稳性也是举足轻重的地位了。它们常常会使得称重进程中减少了无数的烦恼，数据差错，丈量成果也因而减少了累计差错，然后防止了终演变秤称重数据过错。
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