电感耦合等离子体质谱（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry）简称ICP-MS，是以等离子体为离子源的一种质谱型元素分析方法。ICP-MS作为痕量元素分析的有效手段，主要用于多种金属元素的同时测定，并可与其他技术联用，进行样品中元素的微区分布和元素形态分析。

    激光烧蚀(LA,LaserAblation)技术和ICP-MS的联用(LA-ICP-MS)目前成为一种对不同样品基体进行快速多元素测定的有前途的分析方法。

    激光烧蚀(LA)是激光的一种应用。当一束高辐照度短脉冲宽度的激光聚焦于物质表面时产生激光烧蚀。早期研究中LA-ICP-MS多用于红外激光源,近年来研究者们认同了使用短脉冲宽度的紫外激光源的优点。虽然LA-ICP-MS有许多优点,但并不意味着它适合成为固体样中元素测定的一般方法。主要的问题是:分析结果的偏差较大,依赖于固体样的均匀性、性质和表面状态,以及基体匹配的标准难以获得。此外,在固样的烧蚀过程中存在元素的选择性蒸发(即分馏)。LA-ICP-MS已应用于分析大气中微粒物质,陶瓷层、矿物中的液体包容物。长石中的Sr和锆石中Hf的同位素比。(其测定精度接近于TIMS)。测定矿石包容物,迄今为止主要是人工合成物,其中加入已知浓度的痕量重元素(例如:Sr,U)作为内标可获得好的定量结果。