测定方法:
①在防静电的室内(丙烯树脂制、不锈钢制)设置气缸
②提供与颗粒计数器吸入量(28.3/min)相同流量的洁净空气(0.1μm过滤器)
③在不动作状态,确认颗粒计数器的值为“0”
④使气缸动作,测量动作中产生的颗粒
※使用带密封的测试室,以确保除气缸发尘外,其他的颗粒不进入室内
测定条件:
空气质量
气缸驱动用:「等级2.2.1」(JISB8392-1)
净化用:「等级2.2.1」+0.1μm气体过滤器
气缸供应压力:0.5MPa
气缸动作速度:一般速度(200mm/s)
动作条件:无负荷、水平设置(与净化流量平行)
对排气处理型的溢流气口配管,排放到测试室外
对真空除尘型的真空除尘气口配管,进行真空除尘(-26KPa)
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