关于真空镀膜机返油现象的解决办法

 在使用油扩散泵、分子泵抽真空的过程中，空间中80%以上的残余气体是水蒸气、油蒸气以及一些高沸点的蒸汽，这类残余气体在高真空状态下，抽取难度大、速度慢，而且残余气体的存在不仅会影响真空度也会污染生产实验工件，深冷机可有效解决这类问题, 在真空度 10-2 至 10-8 Torr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气，提高真空度、提高产品品质，加快抽速提高生产效率。

在真空室中或油扩散泵的泵口，放置一个能迅速达到-120℃以下的制冷装置（盘管或冷阱），通过其表面的深低温冷凝能力，迅速将真空腔体内的残余气体附着，从而大大缩短抽真空的时间（可缩短30-80%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8 Torr、10-5 Pa)。

在真空镀膜的实际工作中，永佳真空深冷机的工作效率得到了广大用户的认可，提高了生产质量的同时还提高了生产速度，这真真空镀膜行业的好助手！