SMC真空过滤器ZFA系列防止由固体异物造成真空元件的故障。由于可在SMC真空过滤器滤芯内捕捉固体异物，因此壳内无残留。

    SMC真空过滤器ZFA系列设计可更换滤芯的夹头式过滤器，可集装10位，滤芯的过滤面积大，并且可以在任意方向安装。

SMC真空过滤器ZFA100、ZFA200系列规格

使用空气、氮气介质

使用压力范围-100~0KPa

真空破坏压力MAX. 0.5MPa(不能加压保持)

使用及环境温度范围5~60℃

过滤精度30μm(捕捉效率95%)

滤芯更换压差20kPa

SMC真空过滤器的滤芯更换方法：

1、停止SMC过滤器运转，使过滤器的内压变为大气压。

2、拧松紧定螺钉，打开盖。

3、捏住SMC滤芯上部的提手部，取出。

4、确认垫片有无破损，变形，膨胀等，确认有异常的场合，请更换新品。

5、按相反的顺序更换新滤芯。另外，将滤芯插入壳体时，若插入时方向错误，则无法合上盖。

6、关闭盖，拧紧紧定螺钉。

7、确认各部无泄漏后，开始实际运转。