安晟仪器/垂直单向流洁净室标准要求1、垂直单向流洁净室原理 垂直单向流是别洁净室应用广泛的一种气流流型。在洁净室内空气过滤器(或超空气过滤器)布置在顶棚或侧面,从送风口到回风口,气流流经途中的断面几乎没有什么变化,加上送风静压箱和过滤器的均压作用,使得全室断面上的流速比较均匀,而至少在工作区内流线单向平行,没有涡流。干净的气流不是一股或几股,而是充满全室断面,所以这种洁净室不是靠参混稀释作用,而是靠推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外,从而达到净化室内空气的目的。空气经架空地板回至循环风机,从而形成上送下回的垂直单向流流型。当房间宽度小于等于6m时,也可以在侧墙下部设回风口形成上送下侧回的气流流型,这种方式基本上也属于垂直单向流流型。 2、单向流的三要素 单向流的形成除了要满足气流充满洁净室或洁净区,还有三个要素:气流速度、气流的不均匀度、气流的平行度。而且对三要素均有严格的要求。 (1)气流速度 气流速度的选择原则应该使整个气流均匀流动不发生滞留区。气流速度应能抵抗人员活动、热浮升的干扰,对于垂直单向流洁净室横断面的断面风速Vd可参考下述数值: a) 室内无人或经常处于无人状态 0.1~0.15m/s; b) 一般情况ISOl~4级 0.25—0.35m/s,ISO5级 0.2~0.35m/s; c) 有上升热气流(流速为Vr)时,Vd>Vr; d) 考虑人员舒适 Vd<0.5m/s; e) 工艺有特殊要求时按工艺要求确定。 (2)气流速度的不均匀度 洁净技术发展初期,对气流的不均匀度要求很严格。美国FS209B规定:不均匀度在±20%以内。此规定没有说明以那个速度为基准值,是设计风速还是断面风速的实测平均值。一般认为其准值是断面实测的平均风速。美国FS209以后,删掉了气流不均匀度的要求。这显然是长期实践得出的认识。从长期对洁净室的测试发现这一要求基本达不到。我们知道,出口气流除射流的主体段之核心部分,气流速度相等,流线平行外,其它部分均不可能。由于过滤器滤料密度不均,过滤器送风静压箱压力不均,及由于相邻过滤器边框形成的无风区,相邻过滤器出风搭接处的风速与过滤器表面的出风风速也不相同。
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