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| 泵轴位置 | 其他 | 输送介质 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 叶轮数目 | 其他 | 应用领域 | 环保,能源,电子,电气,综合 |
日本佳能anelva高抽速组合泵真空泵泵控制器 特点介绍
通过将钛升华泵和三极管离子泵（贵族泵）组合在一起，组合泵利用离子泵轻松产生清洁超高真空的能力，并以低廉的价格获得高抽速。
抽速大
每抽速1L/s的价格（包括控制装置的价格）约为离子泵的1/2至1/3。
与相同抽速的离子泵相比，轻便紧凑
，体积和重量仅为1/5至1/10。因此，它可以很容易地安装和从排气系统中拆卸，并且可以在很小的空间内实现高排气速度。
气相沉积设备、电子显微镜、质谱仪、真空炉、各种分析设备、实验设备、排气设备以及其他释放大量气体的超高真空系统。
日本佳能anelva高抽速组合泵真空泵泵控制器 规格参数
排气速度/排气流量参考图1
工作压力范围10 -1 Pa 至 10 -9 Pa
烘烤温度最高250℃
大量的约15公斤
进气法兰φ152ICF法兰
内容积4.5升
适用控制装置922-9119 升华泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器
排气速度/排气流量见图2
工作压力范围10 -1 Pa 至 10 -9 Pa
烘烤温度最高250℃
大量的约25公斤
进气法兰φ203ICF法兰
内容积约7.5升
适用控制装置922-9119 升华泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器
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