性能参数

l 域势很高兴为您提供本公司的真空阀。这些阀门是长期精心研发的成果，旨在确保产品质量、可靠性和价值。我们竭尽全力提供适合不同客户要求的阀门系列。我们的阀门能在各种应用场合中可靠运行，包括存在化学和微粒污染的半导体生产系统。

l 使用寿命长。                                          

l 不锈钢焊接波纹管密封。

l Viton，密封圈可间歇性烘烤至200℃。                    

l 结构紧凑。

l 通过电磁阀进行简单控制。                              

l 维护简单快捷。

l 手动或电气动操作或安全故障操作（气压损失时关闭）。

规格

l 阀体            SUS304（可根据要求提供其他材质）

l 提升阀           SUS304（可根据要求提供其他材质）

l 波纹管           焊接AM-350（选配）

l 电磁阀           选配

l 位置指示器        选配

l 密封            Viton O型圈

l 泄漏率           2x10^-9mbar.1/s

l 压力范围         1x10^-9mbar至1000mbar Viton密封圈

l 开启前的最大压力△   1.2Bar

l 工作气压         4-6.5kg/cm²

l 维修前的循环次数    波纹管型：16至50-50,000；63至150-250,000；200至250-80,000

    非波纹管型：16至50-200,000；63至250-10,000（取决于O型圈的状况）

                 （非波纹管型建议垂直安装）

l 耐温限制：

l 可根据要求提供更大或特殊尺寸。

用途

l KF、ISO和ANSI端口型号专为真空压力接近10-9torr且烘烤温度不超过150℃的高真空应用而设计。标准的国际KF/ISO配置和ANSI配置用于需要易于安装和拆卸的法兰式密封的区域。

l CF端口型号专为真空压力接近10-10torr且烘烤温度不超过200℃的超真空应用而设计。在使用OFHC无氧铜垫片而非传统的Viton O型圈时，这些阀门具有更高的烘烤温度、更低的真空压力（释气最少），以及更低的真空漏率。它们还常用于需要更持久密封的应用。

双动式无波纹管CF法兰大角阀

气动执行器，无波纹管

双动式，气动开启，气动关闭

CF法兰

双动式无波纹管CF法兰大角阀

规格：美规

规格：欧规