Alicat艾里卡特标准型气体质量流量计

标准规格

满量程范围：所有气体0.5 SCCM至5000 SLPM(氢气10000 SLPM)

测量范围：满量程的0.01%–100%

精度：读数的±0.6%或满量程的±0.1%，以较高者为准

可选高精度：读数±0.5%或满量程±0.1%，以较大者为准

重复性：读数的0.1%和满量程的0.02%

响应时间：< 10ms

工作温度:-10℃到+60℃

满量程工作压力:160 PSIA (11 barA)

Alicat艾里卡特标准型气体质量流量计

特点

同时测量体积流量，质量流量，气体压力，气体温度

现场可调的工程单位和STP/NTP条件

可从98+预加载NIST可追溯气体校准选择过程气体

定义和存储多达5种成分气体的20种定制气体混合物

使用集成触摸板从背光显示和控制配置中读取测量值

可选集成流量累加器和报警器

构成和性能选项

通信:Analog, RS-232, RS-485, Modbus RTU, Modbus TCP/IP，        

DeviceNet，EtherCAT，EtherNet/IP，Profibus，PROFINET

过程连接 :NPT, SAE, AN, BSPP/G，压缩，VCR, VCO

显示屏:背光单色或彩色;集成或面板;无

密封圈: F-KM、F-KM、EPDM、硅树脂

校准: 标准或高精度;定制校准点