敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺

敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺

增量测量法的磁栅由周期性栅线组成。通 过计算自某点开始的增量数（测量步距 数）获得位置信息。由于必须用参考 点确定位置值，因此测量基准的光栅尺上 还有一个参考点刻轨。在光栅尺上，由参 考点确定的位置是在一个信号周期分 配的。因此，必须通过扫描参考点建立绝 对基准点或确定上次选择的原点。

在不理想的情况下，可能需要运动机床 测量范围的相当大部分。为加快和简化 “参考点回零”操作，许多海德汉尺带距 离编码参考点，这些参考点之间彼此相距 数学算法确定的距离。因此只需运动数毫 米，一旦移过两个相邻参考点后，后续电 子电路就能找到参考点位置（见下 表）。距离编码参考点的光栅尺在型号后 均带字母“C”（例如LIF 181C）。

 敞开式HEIDENHAIN直线光栅尺

光电扫描

海德汉的大多数光栅尺采用光电扫描原 理。光电扫描在工作中无接触，因此无磨 损。光电扫描可以检测到非常细小的光 栅，栅线宽度可仅数微米，并能输出非常 细小的信号周期信号。

测量基准的栅距越小，光电扫描的衍射现 象越严重。海德汉直线光栅尺采用两种扫 描原理：

• 成像扫描原理用于10 µm至200 µm的栅 距。

• 干涉扫描原理用于栅距4 µm甚至更小栅 距的光栅。

成像扫描原理

简单地说成像扫描原理是用透射光生成信 号：两个栅距相同或相近的光栅与扫描掩 膜彼此相对运动。扫描掩膜的基体为透明 色，而作为测量基准的光栅材料可为透明 材料也可以为反光材料。

当平行光穿过光栅时，以特定的间隔形成 明暗的光影区。在该处设有栅距相同或相 近的扫描光栅。当两个光栅相对运动时， 入射光被调制：在狭缝对齐时，光线通 过。如果一个光栅的刻线与另一个光栅的 狭缝对齐，光线无法通过。光电池将这些 光强变化转化成电信号。

特殊结构的扫描 掩膜将光强调制为近正弦输出信号。光栅 条纹的栅距越小，扫描掩膜与光栅尺间的 间距越小，公差越严。对于成像扫描原理 的光栅尺，10 μm或更大栅距的光栅尺可 满足实用的安装公差要求。

 LIF 471，LIF 481 安装简单的增量式直线光栅尺

• 测量步距达2 nm

• 自带回零轨和限位开关检测位置

• 易于安装，粘结固定

• 直线光栅尺和读数头配套使用

• 可提供高真空度版（参见产品信息文档）