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利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。

研讨发现，在紫外光的能量以及纳米活性催化氧化作用下，有机挥发性废气在短短2-3秒的时刻内就可以被充分分化。光氧催化技能是在外界可见光的作用下发作催化作用，以半导体及空气为催化剂，以光为能量，将有机物降解为CO2和H2O及其它无毒无害成份，废臭气体通过处理后可到达净化的更理想的作用。因为在光催化氧化反响过程中无任何增加剂，所以不会发作二次污染，运转本钱方面仅仅用到电能，无需常常替换配件， UV光氧催化氧化废气处理设备对于公司、企业来说使用上是适当的节能环保。

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