飞秒激光PFIB提供较快的材料去除率和较高的切割面质量，是毫米尺度范围纳米分辨率下较快的高质量亚表面和三维表征设备。

飞秒激光PFIB

大体积：2000×2000×1000μm3
大束流：~1mA（等效于离子束电流）
切割束流：74μA
束斑尺寸：15μm
激光集成：3束(SEM/PFIB/laser)*集成在仓室中，并具有相同的重合点，
实现可重复的切割位置和3D表征。
一次谐波：波长1030纳米（红外），，脉冲持续时间<280fs
二次谐波：波长515纳米（绿），脉冲持续时间<300fs
电子光学：
☆ 三束重合点  WD=4mm（与SEM/FIB相同）
☆ 可变物镜（电动）
☆ 极化：水平/垂直
☆ 脉冲频率： 1kHz~1MHz
☆ 束流位置精度：<250nm
保护挡板：自动SEM/PFIB保护挡板
软件：
☆ 激光控制软件
☆ 激光三维连续切片工作流程
☆ EBSD激光三维连续切片工作流程
☆ 激光编译
安全性：连锁激光器外壳（一级安全）