科晶单温区CVD真空管式炉

主要特点

  1、双层壳体，配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，环保节能。壳体温度<70℃。

  2、采用不锈钢真空密封法兰，使用双硅胶密封圈进行密封。

  3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。

  4、采用PID控制器 ，可以设置30段升降温程序。

  5、已通过CE认证。

科晶单温区CVD真空管式炉技术参数

  1、电源：AC 220V  8KW

  2、石英管：内径Φ152mm，长1016mm

  3、加热元件：Ni-Cr-Al电阻丝

  4、加热区域：600mm

  5、恒温区域：200mm

  6、工作温度：zui高1100℃，连续工作400℃-1000℃

  7、zui大升降温速率：10℃/min

  8、热电偶：双K型

  9、控温精度：±1℃

  10、真空度：10^-2torr（机械泵），10^-5torr（分子泵）

  11、铠装热偶检测口：1个

  12、真空接口：KF40

产品规格

  尺寸：1000mm×680mm×920mm；重量：250kg

标准配件

1

  石英管

1根

2

  氧化铝管堵

2个

可选配件

  1、软件接口模块和PC机

  2、石英管

  3、石英管堵

  4、K型热电偶（Φ6.35mm×915mm，用于对炉膛温度校准）

  5、真空泵