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| 应用领域 | 电子 |
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产品简介
详细介绍
sf6定量检漏仪设备
氢气回收装置主要用于钨钼行业还原工序排出的废氢，收集废氢后进入预处理系统，经增压后由冷却器冷却，汽水他离器分离水份，然后进入纯化装置主体部分，对氢气进行精制处理，经处理后的氢气中含氧量≤5ppm，H2O≤10ppm，N2≤900ppm。氢气回收装置分为中压回收和常压回收，中压回收氢气的增压由压缩机进行，而常压回收则由罗茨风机来完成。
氩气回收纯化装置是对区熔单晶硅炉排出的氩气进行回收处理，通过膜片压缩机稳压器进入氩气纯化装置主体部分进行纯化处理，使氩气纯度达到99.999%以上。
系统特点
1）工艺流程简单，操作方便，自动化程度高。
2）吸附容量大，吸附再生速度快，吸附效率高，回收率高。
3）设备结构紧凑，占地面积小。
4）的安全性能，适用于易燃易爆场所。
5）性能稳定，设备运行环境为常压，能耗小，运行成本低。
6）设备操作弹性大，可承受较高的温度、压力、风量、浓度的波动。
7）投资回报期短，通常一年内可回收投资成本。
8）设备使用寿命10年以上，活性炭纤维的更换周期为1-3年。
维修保养：
1、真空泵长期工作应注意泵油是否充足，泵内存油不得低于油标中心，油量不足将会影响工作性能，甚至损坏零件。
2、油品是否清洁，对泵的真空度有影响。一般用泵抽除干燥气体约600~1000小时应进行更换新油。
3、更换新油先开泵运转30分钟，使油变稀，旋开放油塞使泵腔内污油全部放出，再从加油孔加入一定新油，启动电机
运转数秒钟，对泵内部进行清洗，操作2~3次，达到清洁后放净污油，装上放油塞，再从加油孔注入新泵油至油窗
中心，旋上加油塞。
4、泵油采用HFV-1真空泵油，注意不得低于中心，但亦不能高出整个油窗，否则会产生喷油现象。
5、不同种类和牌号的真空泵油，不可混合使用。
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