M Plan Apo 5× 378-802-6物镜Mitutoyo三丰
明视场用物镜
M Plan Apo /
M Plan Apo HR
VMU WIDE VMU FS70 MF-U Hyper MF-U
M Plan Apo 5× 378-802-6物镜Mitutoyo三丰
明视场用物镜 M Plan Apo / M Plan Apo HR VMU WIDE VMU FS70 MF-U Hyper MF-U 凭借长动作距离设计的物镜,实现优异的操作性。 与定位器、探针台等组合。 通过与激光加工装置组合,还可支持不良分析→部分修正无缝衔接的系统。 此外,还提供支持隔着玻璃的、真空内的外观检查的系统 Mitutoyo三丰显微镜单元 日本三丰物镜(紫外、近紫外、可视、近红外) 用于半导体、电子、液晶相关等产品的生产 品质管理系统、实验研究装置使用的光学系统 外观检查系统的嵌入式光学单元 微生物等运动物体的观察 等 可安装数码相机,通过外部显示器进行观察和拍摄。 可实现横向水平、上下颠倒等高自由度的固定方法。 与简易支架一起使用,还可作为紧凑型显微镜使用。 ★金属、树脂、印刷面等表面观察拍摄 ★微量流体分析用光学系统 ★以观察和分析细胞、微生物等为目的的光学系统 M Plan Apo NIR系列等支持红外区的物镜组合,可在红外线下实 现可见光下做不到的非破坏性检查。 ★液晶薄膜、硅基板等的厚度测量 ★MEMS内部的非破坏评价、三维安装评价 ★半导体封装(IC)的内部观察、晶圆键合空洞评价传感器 ★红外分光特性分析 通过VMU-LB和固定倍率观察用相机卡口的 组合,能够对同一位置以不同倍率同时观 察。 (低倍率侧:2/3型、高倍率侧:1/2型等)
通过与YAG激光(1064nm、532nm、355nm、266nm)物镜组合,可实现高精度、高 品质加工。 与简易支架一起使用,还可作为紧凑型显微镜使用。 保护膜、有机薄膜等的剥离 金、铝等金属配线切割、下层图案的外露 FPD的各种缺陷修正 光掩模修正 标记、修剪、图像形成、局部退火、划线 凭借长动作距离设计的物镜,实现优异的操作性。 通过与激光加工装置组合,还可支持不良分析→部分修正无缝衔接的系统。 此外,还提供支持隔着玻璃的、真空内的外观检查的系统 视频显微镜单元 VMU 大视场视频显微镜单元 WIDE VMU
精密显微镜单元 FS70 明视场用物镜 (长工作距离 ) M Plan Apo/M Plan Apo HR 明视场用物镜 (超长工作距离 ) M Plan Apo SL 明视场用物镜 (玻璃厚度校正) G Plan Apo 明暗视场物镜 (长工作距离) BD Plan Apo/BD Plan Apo HR 明暗视场物镜 (超长工作距离 ) BD Plan Apo SL (近红外区 ) M Plan Apo NIR/M Plan Apo NIR HR, M Plan Apo NIR B 明视场用物镜 (液晶玻璃厚度校正 近红外区 ) LCD Plan Apo NIR/LCD Plan Apo NIR HR 明视场用物镜 (近紫外区 ) M Plan Apo NUV/M Plan Apo NUV HR 明视场用物镜 (液晶玻璃厚度校正 近紫外区
LCD Plan Apo NUV/LCD Plan Apo NUV HR 明视场用物镜 (紫外区 ) M Plan UV 明视场用物镜 (液晶紫外区 ) LCD Plan UV 成像 (镜筒 )透镜 MT 测量显微镜用物镜 ML 定心显微镜用物镜 CF 大视场目镜 /分划板 WF/UWF 各种显微镜选件 支架、工作台、照明装置 外形尺寸 (VMU/WIDE VMU/FS70 | |