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M Plan Apo 2x 378-801-6明视场物镜Mitutoyo三丰
明视场用物镜
M Plan Apo /
M Plan Apo HR
VMU WIDE VMU FS70 MF-U Hyper MF-U

日本三丰物镜(紫外、近紫外、可视、近红外)
用于半导体、电子、液晶相关等产品的生产
品质管理系统、实验研究装置使用的光学系统
外观检查系统的嵌入式光学单元
微生物等运动物体的观察 等
可安装数码相机，通过外部显示器进行观察和拍摄。
可实现横向水平、上下颠倒等高自由度的固定方法。
与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微镜使用。
★金属、树脂、印刷面等表面观察拍摄
★微量流体分析用光学系统
★以观察和分析细胞、微生物等为目的的光学系统

M Plan Apo NIR系列等支持红外区的物镜组合，可在红外线下实
现可见光下做不到的非破坏性检查。
★液晶薄膜、硅基板等的厚度测量
★MEMS内部的非破坏评价、三维安装评价
★半导体封装(IC)的内部观察、晶圆键合空洞评价传感器
★红外分光特性分析

通过VMU-LB和固定倍率观察用相机卡口的
组合，能够对同一位置以不同倍率同时观
察。
(低倍率侧：2/3型、高倍率侧：1/2型等)

通过与YAG激光(1064nm、532nm、355nm、266nm)物镜组合，可实现高精度、高
品质加工。
与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微镜使用。
保护膜、有机薄膜等的剥离
金、铝等金属配线切割、下层图案的外露
FPD的各种缺陷修正
光掩模修正
标记、修剪、图像形成、局部退火、划线

凭借长动作距离设计的物镜，实现优异的操作性。
通过与激光加工装置组合，还可支持不良分析→部分修正无缝衔接的系统。
此外，还提供支持隔着玻璃的、真空内的外观检查的系统

 M Plan Apo
M Plan Apo 1× ※1 378-800-3 0.025 11.0 200 11.0 440 24 4.8×6.4 300
M Plan Apo 2× ※2 378-801-6 0.055 34.0 100 5.0 91 12 2.4×3.2 220
M Plan Apo 5× 378-802-6 0.14 34.0 40 2.0 14 4.8 0.96×1.28 230
M Plan Apo 7.5× 378-807-3 0.21 35.0 26.67 1.3 6.2 3.6 0.64×0.85 240
M Plan Apo 10× 378-803-3 0.28 34.0 20 1.0 3.5 2.4 0.48×0.64 240
M Plan Apo 20× 378-804-3 0.42 20.0 10 0.7 1.6 1.2 0.24×0.32 270
M Plan Apo 50× 378-805-3 0.55 13.0 4 0.5 0.9 0.48 0.10×0.13 290
M Plan Apo 100× 378-806-3 0.70 6.0 2 0.4 0.6 0.24 0.05×0.06 320