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直线光栅尺在真空技术中的应用

真空是一个无任何物质的空间，例如在真空中没有空气也没有任何其它气体。 根据真空的纯度，通常将真空分为低真空、中等真空、高真空或超高真空。 真空技术在许多现代化生产过程和科研工作中发挥着重要作用。因此，真空技术是电子、薄膜技术、新材料开发、生物技术以及医药和 分析技术*的技术。 真空应用对零部件有严格的要求，当然也影响到定位应用的编码器。海德汉针对高真空和超高真空应用特别设计的直线光栅尺能满足 这些要求，真空版的特殊设计包括：

• 满足真空要求的PCB，黏胶和漆料，减少气体析出 • 通气的空腔，缩短抽真空时间 • 耐高温，支持较高的加热温度 • 无磁铁材料，提高过程可靠性 • 超净车间生产，确保高清洁度

真空等级

在密闭的空间中，空气被抽出成为无空气 的空间。气室内的空气减少，气压下降， 产生真空。封闭空间中的空气量越少，气 压越低，真空度越高。真空度分为四级。 高于1 mbar的气压为低真空度。低于该气 压时，为中等真空度。低于0.001 mbar为 高真空度，达到或低于0.000 000•1•mbar 为超高真空度。

真空应用

真空需要一个密闭的空间不存在任何空气， 因此也不存在任何悬浮颗粒，不允许任 何“异物”存在。有时需要在真空中测量 尺寸，例如需要检查亚微米级的超精细结 构或需要切分和检查颗粒。直线光栅尺和 角度编码器在真空中的常见应用包括电子 显微镜、机械手、多路执行器、XY工作 台、电子束显微镜，半导体工业的圆晶检 查或测量同步加速器辐射的光谱仪轴。

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