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详细介绍
日本三丰 CS-H5000CNC表面粗糙和轮廓测量仪
日本三丰 CS-H5000CNC表面粗糙和轮廓测量仪
• 高精度触针型CNC表面测量仪可以同时 进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。
• X1轴和Z2轴的*驱动速度分别为 40mm/s和200mm/s，可以高速定位， 从而提高了多重轮廓/多工件测量的效 率。
• X1 轴和Z1 轴上装有三丰激光全息光栅 尺，从而可以实现高分辨力的轮廓/ 形 状测量、表面粗糙度的批量测量。
•Z1轴检出器采用主动控制方式，减少Z1 轴动态测力变化的同时扩展了测量范 围。
•Z1轴检出器集成了防碰撞安全装置，当 仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检 测装置可以自动停止工作。
• CS-5000CNC带有a轴，可以通过电动 旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。
• 带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行 多工件定位，从而增加了多工件测量范 围。
• 可选的外部控制功能(外部I/O)，与PLC 实现双向通信(RS-232C)。
产品规格 |
| 货号 | CS-5000CNC | CS-H5000CNC | ||
| X1 轴 | 测量范围 | 200mm | ||
| 分辨力 | 0.00625μm | |||
| 长度基准 | 激光全息测微计 | |||
| 驱动速度 | CNC型 | *40mm/s | ||
| 操纵杆 | 0 - 40mm/s | |||
| 测量速度 | 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形状/轮廓)
| |||
| 测量方向 | 向前/ 向后 | |||
| 直线度 | (使用标准测针) | (0.1+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm) | (0.05+0.0003L)μm L: 驱动长度 (mm) | |
| (使用二倍长型测针) | (0.2+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm) | (0.1+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm) | ||
| 精度（20℃） | ±(0.3+0.002L)μm L: 驱动长度 (mm) | ±(0.16+0.001L)μm L: 驱动长度 (mm) | ||
| Z1 轴 (检出器 | 测量范围 | (使用标准测针) | 12mm | 12 μm |
| (使用二倍长型测针) | 24mm | 24 μm | ||
| 分辨力 | (使用标准测针) | 0.004 μm | 0.001 μm | |
| (使用二倍长型测针) | 0.008 μm | 0.002 μm | ||
| 测针针尖垂直运 | 弧形移动 | |||
| 长度基 | 激光全息测微计 | |||
| 精度 (20oC) | ±(0.3+|0.02H|)μm H: 测量高度 (mm) | ±(0.07+|0.02H|)μm H: 测量高度 (mm) | ||
| 测力 | (使用标准测针) | 4mN (固定) | ||
| (使用二倍长型测针) | 0.75mN (固定) | |||
| 跟踪角度 | 向上: 60o, 向下: 60o, (根据表面粗糙度) | |||
| 测针针尖形状 | 标准测针 | 针尖角度: 40o, 针尖半径: 5μm, 金刚石针尖 | ||
| 标准球头测针 | 球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 | |||
| 2倍测针 | 针尖角度: 40o, 针尖半径: 5μm, 金刚石针尖 | |||
| 2倍测针 | — | 针尖角度: 60o, 针尖半径: 2μm, 金刚石针尖 | ||
| 2倍球头测针 | 球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 | |||
| 测针方向 | 向下 | |||
| Z2 轴 (立柱) | 行程范围 | Z2 轴 (立柱, S 型) | 300mm | |
| Z2 轴 (立柱, H 型) | 500mm | — | ||
| 分辨力 | 0.05 μm | |||
| 长度基准 | 反射型线性编码器 | |||
| 驱动速度 | CNC型 | *200mm/s | ||
| 操纵杆 | 0 - 50mm/s | |||
| 基座尺寸 (W×D) | 750×600mm | |||
| 基座材 | 花岗岩 | |||
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