Micro系列测量机采用先进的有限元分析设计方法的Micro系列测量机，在机械结构上具有刚性强、几何误差小的特点，这为三坐标测量机的提供了高精度、高性能和高稳定性的优点。

机械整体结构采用刚性结构好、质量轻的全封闭框架移动桥式结构。其结构简单、紧凑、承载能力大、运动性能好。
固定优质花岗岩工作台，使其具有承载能力强、装卸空间宽阔、上下工件方便快捷等特点。
导轨采用燕尾式设计原则，可提供高精度的精确定位以及良好可靠的稳态性能。

三轴采用优质花岗岩，热膨胀系数小，三轴具有相同的温度特性，因而具有良好的温度稳定性、抗实效变形能力，刚性好、动态几何误差变形小。
三轴均采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的静压气浮式导轨，轴承跨距大，抗角摆能力强，阻力小、无磨损、运动更平稳。

横梁采用精密横梁设计技术，重量轻、重心低、刚性强，动态误差小，确保了机器的稳定。
采用RENISHAW反射式金属带状光栅计量系统，与大多数工件具有相近的热膨胀系数，确保了良好的重复精度。

Z轴采用气缸平衡装置，极大的提高了Z轴的定位精度及稳定性。
采用日本进口高精度精密过滤系统，保证压缩空气的过滤精度在5um，大大降低了由于高压压缩空气的质量导致启动系统损坏的情况。

三轴电机均采用进口AMETEK电机，良好的高速性能提供了高效的测量效率，优良的低速性能为测量提供了可靠的准确度。