德国PI线性促动器和平台

P-753 LISA线性促动器和平台

§ 同时为平台和促动器提供导向

§ 行程达38 微米

§ 分辨率 0.05 nm

§ 可提供非磁性版本

§ 直接驱动可实现极其快速的响应行为

§ 电容式传感器带来线性度

应用领域

§ 扫描显微镜

§ 测量技术

§ 测试程序和质量保证

§ 光子

§ 光纤定位

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对chong击和振动不敏感。 它们分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

直接位置测量带来精度

运动直接在运动平台上测量，*不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现jia的重复精度、优异的稳定性和刚性 、快速响应控制。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可 实现极低的排气率。

PICMA直接驱动可实现更高刚性和动态

带直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移，带PICMA直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移。因此可实现快 速响应速度，并在压电陶瓷驱动范围内实现的刚性和动态。

订购信息

带Sub-D连接器（公头）的版本

Physik Instrumente (PI)P-753.1CD LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，12微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

Physik Instrumente (PI)P-753.2CD LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，25微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

Physik Instrumente (PI)P-753.3CD LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，38微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器 带LEMO连接器的版本

Physik Instrumente (PI)P-753.11C LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，12微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

Physik Instrumente (PI)P-753.21C LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，25微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

Physik Instrumente (PI)P-753.31C LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，38微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 线性定位器，真空兼容达10-9百帕

Physik Instrumente (PI)P-753.1UD LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，12微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

Physik Instrumente (PI)P-753.2UD LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，25微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

Physik Instrumente (PI)P-753.3UD LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，38微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

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