API激光干涉仪线性定位误差测量

API激光干涉仪线性定位误差测量

旧的方法：

激光头安装在机床工作台之外，机床所受的震动干扰和激光头的不同，产生测量误差。特别是在带有空气弹簧减震系统的机器上
三点对光，操作复杂
依靠电脑上的光强条的强弱来对, 余弦差较大

API XD干涉仪的测量方法:
一次安装也可同时测量其它五个参数;
可利用电脑中的直线度实时显示,
数字化去除余弦差，测量准确;
两点调光，对光迅速
 

主要特点：

一次安装能测量6项精度指标
包括线性定位误差、 XX及YY两个方向直线度、
偏摆角、俯仰角、滚动角
把反射镜换成五棱镜既可测量两轴间垂直度
两点调光线. 无需三脚架. 测量调整简单快速
传统激光干涉仪测量20项精度指标(三轴)，约需3天的时间； API干涉仪只约需半天!
测量直线度/小角度/垂直度/转台时, 不怕断光, 可当自准直仪用, 用于机床装配调试

5D/6D高精密型： 
1. 线性：0.2ppm 
2. 测量范围：根据用户要求而定 
3. 偏摆角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒 
4. 大范围：500角秒 
5. 滚动角精度：0.5角秒 
6. 直线度精度：（0.2+0.05/m）um 
7. 大范围：100um 
8. 垂直度精度：0.5角秒 
9. 温度：0.1摄氏度 
10.湿度：3% 
11.压力：0.3mmHg