X射线荧光光谱法有如下特点:
分析的元素范围广,从4Be到92U均可测定;
荧光X射线谱线简单,相互干扰少,样品不必分离,分析方法比较简便;
分析浓度范围较宽,从常量到微量都可分析。重元素的检测限可达ppm量级,轻元素稍差;
分析样品不被破坏,分析快速,准确,便于自动化。
X射线荧光光谱仪具有重现性好,测量速度快,灵敏度高的特点。能分析B(5)~U(92)之间所有元素。样品可以是固体、粉末、熔融片,液体等,分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。无标半定量方法可以对各种形状样品定性分析,并能给出半定量结果,结果准确度对某些样品可以接近定量水平,分析时间短。薄膜分析软件FP-MULT1能作镀层分析,薄膜分析。测量样品的zui大尺寸要求为直径51mm,高40mm。