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CMP在线检测具有优势的高新技能
时间：2018-3-20
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CMP在线检测具有优势的高新技能
CMP在线检测可为超大粒径颗粒提供可靠、的粒径和计数数据，采用拥有的单颗粒测量技术和动态自动稀释技术实现单颗粒依次检测分析，具有的灵敏度、解析度和度，不存在颗粒间相互干扰问题。
由于获得的是真实粒度分布，因此测量结果重复性好、可靠、统计精度高，适于检测分析亚微米颗粒体系中较大颗粒的分布信息，动态自动稀释和清洗系统使得测试方便快捷，只需通过鼠标的单击操作，即能帮助用户在短时间内完成从进样到检测，进而清洗系统的所有操作，使用户获得粒径的详细分布信息。CMP在线检测校准油相标准物质研制过程中，为了批与批之间的均匀性、一致性和稳定性，必须对标准物质的制备工艺、均匀性和稳定性评定要求、定值方法、不确定度评定方法、包装方式、检验规则等相关技术内容进行统一的规定和要求。
按照JJG 1006-1994《标准物质技术规范》要求，CMP在线检测校准油相标准物质研制步骤基本有以下四个方面：首先，选择合理的制备程序、工艺，并防止外来污染及待定特性量的量值变化，采用满足颗粒计数器校准特殊要求无色透明平底瓶子分装包装储存，便于在校准过程中随时观察标准物质的用量与状态；然后按照随机数表由同批制备的样品中随机抽取样品，组成检查样本，进行均匀性检验；再则标准物质在规定的储存或使用条件下，定期进行稳定性检验；后在均匀性检验和稳定性检验合格后进行定值并评定不确定度。
CMP在线检测定值方法是标准物质研制的关键技术，定值是对标准物质的赋值，在颗粒计数器校准油相标准物质定值方法研究中，国内外颗粒度领域基本采用相同原理的方法，采用测量方法对颗粒计数器校准油相标准物质进行定值。CMP在线检测一般通过膜分离技术，将单位体积的颗粒计数器校准油相标准物质中的固体颗粒收集在超细的微孔滤膜上，使用光学显微镜或扫描电子显微镜采集微孔滤膜上颗粒的特征图像，采用软件统计分析不同颗粒粒径的数量及大小，得出终定值结果。