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| 产地类别 | 国产 |
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永佳-135℃水汽捕集泵 -135℃ Water vapor cryopump
（提供polycold冷媒及维修）
水汽捕集泵 又称：POLYCOLD、快速循环水汽深冷泵
产品简介
详细介绍
镀膜冷阱真空深冷机水汽捕集泵
永佳真空深冷机不同型号规格
型 号 | ZK-1100D12 | ZK-1100D16 | ZK-1100D16L | ZK-1100D18 | ZK-1100D18L | ||||
功率（KW） | 10 | 14 | 14 | 18 | 18 | ||||
zui大制冷量（W）（-100℃） | 2000 | 3000 | 3000 | 4000 | 4000 | ||||
电 源 | 380V，50HZ | ||||||||
抽速L/S | 149200 | 238200 | 238200 | 372500 | 282000 | ||||
预冷时间（min） | 30 | ||||||||
除霜时间（min） | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤4 | ≤4 | ||||
再降温时间（min） | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ||||
低温管表面积（㎡） | 1 | 1.8 | 1.5 | 2.5 | 2 | ||||
低温管规格 | 20m | 38m | 双路15m | 50m | 双路20m | ||||
冷却方式 | 水冷，水温≤30℃ | ||||||||
冷水流量（t/h） | 1.6 | 2.5 | 2.5 | 3 | 3 | ||||
冷水接口尺寸（mm） | 16 | 16 | 16 | 19 | 19 | ||||
需冷水机功率（HP） | 5 | 8 | 8 | 10 | 10 | ||||
适用油泵直径（mm） | ≤800 | ≤900 | ≤600 | 1000或1200 | ≤800 | ||||
适用真空腔室直径（mm） | ≤1300 | ≤1500 | ≤1000 | ≤1800 | ≤1500 | ||||
永佳真空深冷机适用领域：
1半导体 2太阳能薄膜制程 3光纤市场 4平板显示 5装饰镀膜、卷绕镀膜、光学镀膜
镀膜冷阱真空深冷机水汽捕集泵
应用原理:
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
深冷泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在实际应用当中，根据所放的位置不同可以分为两类（见图）：
1、水汽捕集器
它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置，使盘管每次开门之前恢复到常温，避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。
2、低温冷阱
放在油扩散泵的泵口，高阀以下，它主要功能是防止油扩散泵返油，同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态，无需除霜装置。
根据需要,二者可以分别安装也可以同时安装.
北京德馨永嘉公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵，采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产，替代液氮，节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点，其性能指标在国内处于地位，达到甚至超过*水平。
主要的性能特点