控制面板

· 蒸汽压力、ALD以及气体流量参数均可通过一6英寸接触屏由PLC进行控制 

· 两个ALD进气阀 

· 请点击下图查看控制面板（点击图片查看详细资料）

ALD进气阀 

两个ALD脉冲电磁阀（最小可在10ms完成阀门的开启或关闭）

精密液体气相发生器 

精密液体气相发生器包含在本系统中并且连接到ALD进气阀

双温区管式炉

 · 连续工作的最高温度为1100℃

 · 两个温区由两个独立的温控系统来控制，而且都为PID30段程序化控温 

 · 每个加热区长度为200mm，加热区总长度为400mm 

 · 炉管两端放置管堵时两温区的最大温度差为500℃

 · 输入电压：208-240V AC，单向最大功率为4KW

防腐型数显真空计

 · 测量范围：3.8x10-5 -1125 Torr

 · 耐腐蚀 

 · 对于气体的压力检测具有较高的精确度和重复性

 · 可实现快速的气体监测，响应时间较短易于更换插头及传感元件

真空泵（选配）

 · 管内真空度可达10-2Torr 真空泵不包含在本系统内，如您进行CVD实验可点击下图选购无油涡旋真空泵

混气系统

 · 可选购气液混合装置，用于CVD系统 

· 可选购恒温控制模块

更新观念

 · 您可采用ALD设备搭建等离子增强原子层沉积+化学气相沉积系统（PE-ALD+CVD）和等离子增强原子层沉积+物理气相沉积+化学气相沉积ALD+PVD+CVD），用于生长各类材料

质保期 

一年保质期，终身维护（不包含炉管，加热元件和密封圈）

质量认证

 · 如您另付费用，我们可保证单台仪器通过TUV（UL61010）或CSA认证

注意事项 

· 炉管内气压不可高于0.02MPa· 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa 会更加精确安全· 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击· 点击此处了解如何选择本公司石英/陶瓷管以及管式炉真空法兰本公司有权随时修改PE-CVD系统的设计不再另行通知，但我们保证修改之后的仪器质量可以达到和超过上述标准