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技术参数
| 主要特点 | 采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。 |
| 可短时间内*清洗掉有机污染物。 | |
| 清洗程度可达到分子级。 | |
| 可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。 | |
| 清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌. | |
| 样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻. | |
| 广泛应用于光学,光电子学,电子学,材料科学,生命科学,高分子科学,生物医学,微观流体学等领域. | |
| 参数 | 电压：AC220V 10A |
| 消耗功率：<500W（包括真空泵） | |
| RF电源：输出功率100W，输出频率13.56MHz | |
| 腔体：Φ190mm×98mm | |
| 石英管：Φ180mm×55mm，壁厚7mm | |
| 内腔：Φ165mm×55mm | |
| 清洗电极：Φ120mm | |
| 样品台：Φ150mm，有效尺寸Φ140mm | |
| 样品台与电极间距：15mm-50mm可调 | |
| 抽气管：Φ12mm | |
| 极限真空度：0.1Pa | |
| 工作真空度：60Pa-500Pa | |
| 气路数量：2路（选装） | |
| 流量控制器数量：1、2 | |
| 流量显示仪：2通道 | |
| 气路接口：Φ6mm | |
| 加热样品台：Φ140mm，加热样品温度RT-600℃±1℃（选装） | |
| 冷却水压力：0.2KPa-0.4KPa | |
| 工作环境：温度5℃-35℃，湿度<80%（相对湿度）不结露，海拔高度0-2000m | |
| 产品规格 | 尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵） |
| 重量：20kg（不含真空泵） | |
| 可选配置 | 加热样品台 |
| 流量控制器（量程10、50、100，多可增加2个通道） |
