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1508次如何使用扫描电镜获取*的陶瓷类样品图像?飞纳电镜与你一起,多角度分析这个问题。
(a)
(b)
图1 同类陶瓷相同电压不同电流的对比
(a)10kV 电流Low 放大倍数500×
(b)10kV 电流Image 放大倍数350×
图1显示了同一类样品在相同电压、不同电流模式下的对比图。可以看出,随着电流的增加图像的细腻度增加,信噪比增加,图像质量上升了。这主要是由于相同加速电压下,当增加电子束电流之后,有更多的电子跟样品发生相互作用,电子束在单像素停留时,有更多电子和样品发生相互作用,探头接受了更多的BSD信号;另一方面,图像中单像素范围内电子束与样品的相互作用范围增大,相邻像素的电子束作用范围重合度增加,这样一来单像素的灰度值与邻近像素的灰度值更趋于接近,灰度变化曲线的平滑性更好,给人一种细腻的视觉感受。对应的劣势也很明显,增加电流之后,电子束变粗,分辨率略有下降。
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