智能型多功能椭偏仪仪器介绍

多功能性设计，配置灵活，具备多角度测量能力，可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单，快速，精确表征和分析的工具。

智能型多功能椭偏仪技术参数

· 光谱范围：450-1000nm

· 多种微光斑自动选择

· 光斑可视技术，可观测任何样品表面

· CCD探测器

· 自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向

· 自动调节; Z轴高度>35mm

主要特点

· 一键式操作，直接报告输出

· 液晶调制技术，测量光路中无运动部件

· CCD 探测系统，快速全谱输出

· 多个微光斑尺寸选择，可视技术

· 多角度测量

· 可实现在线测量配置