日本SMC铝制高真空L型阀 返回列表页

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日本SMC铝制高真空L型阀XLG/XLGV（o形环密封,双动）低气体夹带就业的o形环密封系统高速度响应通过一种特殊的减少颗粒物表面治疗的轴封。

XLD/XLDV（2-Step控制、单表演）初期排气阀和主要排气阀结合起来。2-step（流量控制阀）设计了一种紧凑系统和减少管道防止颗粒湍流内0.9%室在疲惫。

防止泵运行时超载。

初始排气阀流量可调。

XLH（波纹管密封、手动）波纹管式微粒自由及清洗。

压力平衡机制允许无限制排气的方向。

低驱动力矩（0.5牛顿·米或更少）春天提供标准的密封负载。

处理高度是一样的密封圈,当阀门开启或关闭。

确认指示器开启和关闭阀门是标准配置。

波纹管的压力平衡,XLS（正常关闭XLS电磁）微粒也会减少,因为那里没有滑动金属部分。

压力平衡机制允许无限制排气的方向。

控制电源电路的电磁阀驱动已经取得了标准。

可以用于便携式设备因为空气为驱动器是没有必要的。

XL系列铝高真空角阀低的新法成为可能使用一个低容量泵和也疏散时间缩短。

这种阀门不包含等重金属镍（镍）或铬（）和低铬溅射产量也可帮助重金属污染zui小化的半导体器件晶圆。

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“密封材料”,再选择“改变分离。”

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注2）,是指零件数量的“建构”为改变部分14页。

部件号码的数字表示“建构”进行相应的调整。

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注2）,是指零件数量的“建构”为改变部分第22页。

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注2）订做的规格（有关详情,请参阅第24页至29）20铝高真空角阀正常关闭/ o形环密封XLF/XLFV系列如何订购法兰边后方法兰面左法兰面对法兰面问法兰尺寸大小162540506380100160艾凡指标/飞行员港口方向象征零AFGJKLM指标没有指标试点港方向与指标没有指标法兰边法兰边左法兰面后方法兰面对法兰面左法兰面后方法兰面对法兰面象征零D类型西北）滴定（凯西（DN）适用法兰16日、法兰连接式象征EVL AV亩嗨你CAV汞148.5117117 3XLA-16-X65艾凡一个0问2:1r7.5铝高真空角阀/正常关闭/ o形环密封系列XLF定制规格1请咨询与SMC详细尺寸规格和交货。

带旁路阀（法兰尺寸:80）（40）（40）（40）导联线长度:500毫米（L型:3000毫米）刮刀（FKM）轴封（FKM）飞行员端口:旁路阀门调节螺母排气（初始）调整1毫米/旋转音高:

Rc1/8试点港:

锁紧螺母平面宽度在13部件没有。

122:13456788 - 18胜2负910身体阀帽组件o形环六角套筒头帽螺丝o形环计算机铭板汽车开关指标旁路阀门o形环o形环o形环六角套筒头帽螺丝A6063指部分没有。

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加入“L”的zui后部分3米,是理想的数量时,“m”时,可达1米“Z”当5米。

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注2）,是指零件数量的“建构”32页为改变的部分。

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注3）部分e（外部密封）是不可改变规格为16至25岁。

注2）订做的规格（详情,请参阅第34页到43）30作出秩序XLD问囊括的如何订购问法兰尺寸大小2540506380艾凡试点港方向象征零KLM试点港方向法兰边左法兰面后方法兰面对法兰面象征零D类型西北）滴定（凯西（DN）适用法兰25法兰连接式后方法兰面左法兰面对法兰面法兰边注）25码的不适用于H2。

r温度规格/加热器象征零高温度类型H0H2H3温度5到60°C5到150°C加热器--用100°C加热器加热器和120°Cy数量的汽车开关/安装的位置象征零ABC数量没有汽车开关2件。

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例）XLD-25-M9NA-XAN1A象征零ABC改变部分没有魏

注2）,是指零件数量的“建构”页47为改变的部分。

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注3）的变化,以密封材料的部分号码r S阀密封总成是*适用规格为25岁,40到50。

注2）,3）44铝高真空角阀2-Step控制、单经销商/波纹管密封,o形环密封帕特。

XLD/XLDV系列XLS 25 - P - 1克XLS - 25 - 5克DTCGDIN终端终端水管Grommet电气入口95别人（48岁,100伏直流电）24伏直流电起始电压注）维持电压是25%的起始电压。

无控制电源电源和控制高真空角阀（波纹管压力平衡,2段电压开关型）阀门通径1625KF16KF25控制电源P与控制电源125100伏交流电200伏交流电24伏直流电电压G Grommet电气入口警告（1）如没有控制电源（XLS-25 - VDC）,开始:24/48/100电压应该申请只0.15%到0.2 s,按照规定的方法（上所注明的线圈）的后面。不断起始电压应用的原因过热的线圈和火。控股电压是25%的起始电压（申请书吗方法是显示在后面的电磁线圈）。

开始电压例）电压6伏直流电0.15%到0.2时间（s）24伏直流电控股电压52铝高真空角阀电磁/波纹管压力平衡如何订购系列XLS55常见的选择项目热水器额定电压90到125伏交流电加热器（名义值）的功率WIn-rush /电力消费（期权标志）XL-25-200/30XL-40200/40400/70XL-50200/60400/80XL-63400/100600/130XL-80600/150800/180XL-100800/2201200/300XL-1601200/3501600/400H2 100°CH3 120°C注）的电流就In-rush加热为几十秒,然后将平息下来。

请参阅“维修零件”61页为进一步的细节关于数量和类型。

1加热器常见的阀门加热器,XLD模型,XLC XLA XLG和XLH,XLF,。

功耗规格列于下表。

XLXLQD -XVDXGTCYVXMXY3256词汇密封材料请注意,以下是一般特点和主题改变依靠加工条件。有关详情,请与我们manufacturerers密封组件。

粉碎FKM）（新法,低permanent-setting较低和较低的气体渗透利率,这是的密封材料为高真空。

标准材质采用SMC的高真空使用角度三菱电缆行业阀门有限公司。（没有。1349化合物-80）。

明智的做法是选择一款造型依靠它的应用,提出了一种改进的材料复合（因为3310-75）从而降低体重减薄率与O2等离子体是可用的。

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这份材料,perfluoroelastomer（FFKM）,具有优良的热和耐化学腐蚀性能,但它是大的,permanent-setting特别谨慎是必需的。用改进后的变化是可得到的等离子体（O2,CF4）和颗粒电阻,所以它选择类型是明智的基础上应用。

没有。4079化合物:标准Kalre*良、气体和耐热性。

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这份材料,perfluoroelastomer（FFKM）,具有优良的化学物质和等离子体电阻值的稍高的耐热性比FKM。好几个不同的Chemraz是可得到的明智的做法是,选择基于特定的等离子体被用来和其他条件,等。

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Perfluoroelastomer 70W号:化合物（FFKM）而未含有金属填料。可抵御、NH3 NF3。低颗粒发生在干燥的工艺条件。

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Fluoro-based橡胶,不含金属填料。密封这是plasma-resistant材料,具有较低的气体通量密度和耐热性。

硅橡胶、硅树脂（VMQ）这种材料也相对便宜,具有良好的等离子体阻力,但它的气体渗透率高。

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三元乙丙橡胶（Ethylenepropylene橡胶）较低的定价,良好的耐候性、化学和耐热性,但没有抵抗,一般在把所有的矿物油。可选的密封材料所使用的高真空SMC角度三菱电缆行业阀门有限公司。（复合不。

2101-80）耐氨气体等。

优良的物理性能,尤其是有效的运转件。

适用于固定和移动部分和兼容各种各样的应用。

Chemrazzui干净的资料中,发达的高密度等离子体的乐器。

方法1轴封波纹管波纹管密封与降低粒子提供干净的世代和更少的新法。两大类型:Formedbellows惨叫和Welded-bellows。Formed-bellows少产生灰尘灰尘或提供更高的抵抗。Welded-bellows允许中风,但长产生更多的尘埃和提供更少灰尘的抵抗。请注意,忍耐取决于长度和速度的中风。

o形环,等。

由于诱导作用对气体的生成和微粒、真空性能略逊于波纹管类型。

然而,高速运转是可能的和耐用性比较高。一般来说,氟油脂加盖轴封分。

响应时间/操作时间的开启阀门从应用的电压驱动等阀（XL）直至90%的阀门冲程已经完成开启阀门的响应时间。开启阀门操作时间的从一开始就表明了时间的中风,直到90%的运动任务已经完成了。这两种变得更快了操作压力增加。

阀门关闭从切断了电力的电磁阀的驱动（XL）直至90%的阀门是中风已完成回归阀门关闭响应时间。阀门关闭操作时间的表示从阀门开启度的时间回来直到90%的运动任务已经完成了。这两种变慢的操作压力增加。58XL系列特定产品的预防措施1一定要读在处理。

设计气动角阀/系列（V）,XLC XLA（V）,XLD（V）,XLF（V）,XLG（V）所有模型1。对于高真空阀门用于主要的排气管线死板显示面板的生产设备和其他大型制造设备,XLF（V）或XLG（V）系列、用人o形环密封型,为改善耐久性、是被推荐的。

2。当控制阀门的回应,注意到的尺寸和长度的管道,以及流量的特点电磁阀的工作。

3。工作压力应保持在规定的范围内。

0.4 - 0.5 MPa是被推荐的。

4。使用范围内操作压力范围。

5。驱动的活塞室和波纹管腔[除了XLF（V）/ XLG（V）]能直接连接到大气中。

请用在一个环境中,粉尘排放将不是根本原因问题。（请参阅SMC如果释放尘埃必须避免的。）高温/类型,XLC XLA XLD XLG,XLF,,1。在案件的气体,造成大量的存款,热阀体阀门,以防止矿床。

选择小心所有模型1。在高湿度环境,保持阀门包装直到时间安装。

2。万一与开关和电磁阀,以便确保导线他们有足够的萧条的时候,没有任何不合理的力量适用于他们。

3。所以,过度执行管道武力不是用于法兰部分。万一有振动的重的物体或附件,等他们,使转矩、安全不是直接用于法兰之间。

安装小心室真空泵波纹管侧阀侧推荐排气方向[真空泵连接对波纹管侧）所有模型1。是A6063阀体材料、风箱也是不锈钢的316L、及其他金属密封材料采用不锈钢304。标准密封材料的真空区是FKM,即可其他材料的性质发生变化（请参阅“如何订购”）。

使用流体是兼容与材料后确认。

2。选择材料做的冲动的压力管道,和耐热性为配件,这适合于适用的操作温度范围内正常工作。

与汽车开关/ XLA模型（V）,XLC（V）,XLD（V）,XLF（V）,XLG（V）1。开关部分应该是保持在一个温度没有更大的了超过60°C。

模型,XLC加热器,XLD/XLA,XLG,XLF1。当使用一个模型,一个加热器（热敏电阻器）,一个装置应该被安装,以防止经济过热。

电磁阀/ XLAV模型,XLDV,XLCV,XLGV XLFV,1。为模型,用电磁阀电磁阀的温度阀门段也应不大于50°C。

警告1。安装前,清洁表面的法兰密封,打鼾与乙醇等。

2。有一个0.1至0.2毫米凹陷的为了保护法兰密封表面,它应该如何处理,使密封表面并没有被损坏。

3。排气方向在运行过程中,方向的排气可能是确定的在这种情况下的自由,但是流的地方产生的废气、在耐久性下降可能的结果。

排气方向下面（图中波纹管的一面排气）是被推荐的。

请把所有可用的预防措施,为设备的使用寿命是受条件的用法。

管道小心4。正常操作,抗震性允许长达30米/ s2（45到250赫兹）,但持续下降振动可能引起耐久性。为了避免过度安排管道振动或冲击的影响。

高温类型（模型/ XLA XLC XLF,XLD,,,XLG;温度规格/ H0,H2,H3）1。在模型与加热器（热敏电阻器）,小心不要造成的伤害绝缘零件的导线、连接器的部分。

2。设置热水器温度应该建立模型没有汇票或隔热。它将改变不同在条件如热保留措施和供暖其他的管道。一些细微调整,针对的是不可能的。

3。当安装热水器配件或安装一个加热器、检查绝缘电阻在实际的工作温度。一个短线路断路器或保险丝应该安装。

4。当一个阀门需要加热,只有躯体部分应该是加热时,不含盖部分。

5。当一个加热器在操作中,整个阀会变热。是小心,不要碰它,因为燃烧光用手就将会产生。