SMC防爆型3/5通电磁阀 50-VFE/50-VPE防爆规格
符合标准(IEC标准)。
防水性：符合JISF8001第3种散水试验。
无需考虑先导阀排气设备。
SMC防爆型3/5通电磁阀 50-VFE/50-VPE
弹性密封
系列有效截面积mm2 （Cv）消耗功率 （W）
50-VFE3000 5通18 （1.0）3.5
50-VFE5000 45 （2.5）
50-VPE500 3通41.4 （2.3）
50-VPE700 72 （4）
特长
符合标准（IEC标准）。
防水性：符合JISF8001第3种散水试验。
无需考虑先导阀排气设备。
（主阀、先导阀共同排气型［50-VFE3000］）
可以集装化（50-VEF）
可作为选择阀、分流阀使用，也可用于真空环境。 （50-VPE）
XLA 16 M9N一个
M9N（L）（M）（Z）
M9P（L）（M）（Z）
M9B（L）（M）（Z）
前（L）
A93（L）
D-M9N（L）（M）（Z）
D-M9P（L）（M）（Z）
D-M9B（L）（M）（Z）
D-A90（L）
D-A93（L）
没有汽车开关（没有内建的磁铁）
固态自动开关
没有汽车开关（带内置磁铁）
里德汽车开关（并不适用
法兰尺寸16）
汽车开关类型t
西北）滴定（
凯西（DN）
16日、25名、40名,50岁,63岁,80
63,80
w法兰连接式
高真空角阀
正常关闭/波纹管密封
问法兰尺寸
y数量的汽车开关/安装的位置
没有汽车开关
安装的位置
阀门开启和关闭
开启阀门
阀门处于关闭状态
r温度规格/加热器
温度
5到60°C
5到150°C
用100°C加热器
加热器和120°C
你的身体表面处理/密封材料及其变化的部分
与 8226;密封材料
密封材料
FKM
面额8727;产生了三菱电缆行业,垂询。
面额8226;身体表面处理
表面处理
外部:硬质阳极化内部:原材料
外部:硬质阳极化内部:草酸阳极氧化
桶Perfluoro& # 174;是一个注册商标的Matsumura石油有限公司。
Kalrez&;是一个注册商标的杜邦公司绩效弹性体。
Chemraz&;是一个注册商标的格林,斜纹软呢和股份有限公司。
ARMOR& ULTIC;注册商标是日本Valqua行业,有限公司。
注）尺寸16不适用于H2,H3,25码的不是为H2。
艾凡指标/飞行员港口方向
汽车开关并非是适用于高温规格
（温度规格,H2,H3 H0）。标准导联线长度是0.5米。
加入“L”的zui后部分3米,是理想的数量时,“m”时,可达1米
例）-M9NL
与# 8226;密封材料改变部分和泄漏
泄漏（Pa·立方米/秒或更少）注1）
订购的是别的东西,而不是“零”（标准）,列表的符号开始
以“X”,紧随其后的是每个符号为“身体表面处理,”
“密封材料”,再选择“改变分离。”
例）XLA-16-M9NA-XAN1A
注1）值在常温下,不含气体渗透。
注2）,是指零件数量的“建构”为改变部分14页。
部件号码的数字表示“建构”进行相应的调整。
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| | 系列/CAD | 动作方式 | 轴密封形式 | 阀形式 | 材质 | 法兰尺寸 | XLA  | 气控 | 波纹管密封 | 单作用
（N.C.） | 阀体：
铝合金
波纹管：
SUS316L | 16～80 | XLAV
（带电磁阀） | | XLC | 双作用 | XLCV
（带电磁阀） | | XLF | O形圈密封 | 单作用
（N.C.） | 阀体：
铝合金 | 16～160 | XLFV
（带电磁阀） | | XLG | 双作用 | 16～80 | XLGV
（带电磁阀） | | XLD | 波纹管・
O形圈密封 | 单作用
（N.C.） | 阀体：
铝合金
波纹管：
SUS316L | 25～80 | XLDV
（带电磁阀） | | XLH | 手动 | 波纹管密封 | 手动 | 阀体：
铝合金
波纹管：
SUS316L | 16～50 | | XLS | 电磁式 | 波纹管压力平衡 | 单作用
（N.C.） | 16, 25 | | 特长 | | |
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| | 系列/CAD | 动作方式 | 轴密封形式 | 阀形式 | 材质 | 法兰尺寸 | | XLAQ | 气控 | 波纹管密封 | 单作用
（N.C.） | 阀体：
铝
波纹管：
SUS316L | 16～50 | | XLDQ | 波纹管密封
O形圈密封 | 40,50 | | 特长 | | |
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注）对直通型无尺寸16的阀。 | 系列/CAD
（L型/直通型） | 动作方式 | 轴密封方式 | 阀形式 | 材质 | 法兰尺寸 | | XMA/XYA | 气控 | 波纹管密封 | 单作用
（N.C.） | 阀体：
SCS13
（相当SUS304）
波纹管：
SUS316L | 16～80注） | | XMC/XYC | 双作用 | | XMD/XYD | 波纹管
O型圈密封 | 单作用
（N.C.） | 阀体：
SCS13
（相当SUS304）
波纹管：
SUS316L | 25～80 | | XMH/XYH | 手动 | 波纹管密封 | 手动 | 阀体：
SCS13
（相当SUS304）
波纹管：
SUS316L | 16～50注） | | 特长 | - 采用精密铸造一体化结构，无气体滞留。
- 与铝制高真空L型阀XL系列的安装有互换性 （XM系列）
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| | 系列 | 磁性开关种类 | 内容 | | D Series | 有触点的磁性开关 | 一般 （通用型） | | 无触点的磁性开关 | 一般 （通用型） | |
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| | 系列/CAD | 阀形式 | 使用流体 | 配管连接方式 | 配管尺寸 | | XVD | 常断
（加压通/弹簧密封） | 氮气、空气、惰性气体等 | VCR®
Swagelok® | 1/4B | | 特长 | - 阀与针阀一体化结构使配管缩短为原来的1/4。
- （阀芯）座部分采用间隙隔膜，微粒子数量大幅降低。
- 伴随主供气初期供气可进行流量调整。
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| | 系列/CAD | 使用压力范围 （Pa） | 使用流体 | 门尺寸
（高×宽） （mm） | 动作压力
（MPa） | | XGT | 大气压～1×10-6 | 惰性气体系的真空 | 32×222
46×236
50×336 | 0.45～0.6 | | 特长 | - 对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合。
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| | 系列/CAD | 使用环境压力｛Pa （ABS）｝ | 缸径 （mm） | | CYV | 大气～1.3×10-4 | 15,32 | | 特长 | - 真空环境内 （1.3×10-4Pa） 在搬运场合可以使用的气缸。
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