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详细信息
采用日立高新技术公司全新开发的冷场电子枪，实现超高分辨率下观察的同时，稳定的束流亦可满足长时间下的分析需求。新型冷场发射扫描电镜(FE-SEM)SU8200系列中，有SU8220、SU8230、SU8240三款机型，将从5月20日开始发售。
【主要特点】
新研发的冷场电子枪
•利用电子枪轰击后的高亮度稳定期，高分辨观察和分析兼顾
•大幅提高分辨率(1.1nm/1kV、0.8nm/15kV)
•减轻污染的高真空样品仓
•通过顶部过滤器(选配项)实现多种材料对比度可视化
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