目录:日立科学仪器有限公司>>扫描电镜>>日立扫描电镜>> 微小器件特性评价装置nanoEBAC NE4000
电子束吸收电流表征技术提供了一种快速，有效地识别内部连接开路，高电阻以及短路的方法，无需低平层的直接探测技术。EBAC技术利用电子束穿过绝缘层，使低位的金属层吸收电子束电流。
通过场发射扫描电子显微镜的加速电压，控制电子束穿透电介质层的探测深度。单个探针放置于外露的上层金属薄膜上，形成闭合回路，以便电子流过连接线。使用两个探针和日立技术的差动电子束吸收电流表征放大器，可产生赛贝克效应，从而观察高电阻和短路情况。
采用彩色显示功能，对4层铝质连接线进行电子束吸收电流表征成像。
*电流放大器图像
| 探测装置 | |
| 装置编号 | 4 |
| 驱动方法 | 压电式 |
| 微动行程范围 | 5μm （X,Y） |
| 粗动行程范围 | 6mm （X,Y） |
| 样品台/基座台 | |
| 样品尺寸 | 25mm × 25mm × 1mm 厚或更薄 |
| 横向位置 | 测量/样品交换位置 |
| 样品交换 | 气锁交换室 |
| 探针导航 | 样品台平移探针定位 |
| 测量位置记忆 | |
| 探针粗调 | |
| CCD图像显示 | 横向图像显示 |
| 电子光学 | |
| 电子枪 | 场发射电子源 |
| 加速电压 | 0.5kV to 30kV |
| 分辨率 | 15nm （2kV，工作距离为15mm） |
| 图像移动 | ±150μm （2kV，工作距离为15mm） |
| 电子束吸收电流放大器/图像显示 | |
| 放大器类型 | 电流放大器/差动放大器 |
| 图像显示 | SEM/EBAC（单一/并列/叠加） |
| 图像处理 | 黑白反转显示，彩色显示，亮度调节，积分慢扫描，层区扫描 |
| 主机 | 1,100（W）× 1,550（D）× 1,750（H）mm, 850kg |
| 显示装置 | 1,000（W）× 1,005（D）× 1,200（H）mm, 265kg |
| 室温 | 15至25 ºC |
| 湿度 | 相对湿度不高于60% |
| 电源 | AC100V±10% 5kVA （M5接线端子） |
| 接地电阻 | 不高于100Ω |
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