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N-6000纳米探针检测系统
  • N-6000纳米探针检测系统
参考价 面议
具体成交价以合同协议为准
参考价 面议
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  • 品牌
  • 型号
  • 厂商性质 生产商
  • 所在地 北京市
属性

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更新时间:2017-08-23 11:00:20浏览次数:2441评价

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N-6000纳米探针检测系统通过直接将探针接触大规模集成电路的导通连接孔,检测单个MOS晶体管的特性。

N-6000纳米探针检测系统 特点

  • 适用于90-65-45-(32)nm制造工艺。
  • 冷场发射电子枪,在较低加速电压条件下具有更好的分辨率。
  • 确保图像位移量为±100μm,无需移动样品台也可实现宽范围的检测。
  • 具备双马达台机构-探针马达台和样品马达台,操作简单舒适。
  • 的探针头交换仓,可顺畅而迅速地交换探针头。使操作舒适而直观。
  • 上面和侧面两个CCD摄像头,用于探针对中。
     

N-6000纳米探针检测系统 技术指标

项目

描述

探针单元

探针单元数量

6(zui多)

驱动方法

压电式

精调范围

5μm(X,Y轴)

粗调范围

5mm(X,Y轴)

探针头交换

气锁交换室

样品台
(DUT台)

位置检测

光学线性量规

样品尺寸

15mm x 15mm x 1mm 或更薄

行程范围

±7.5 mm(X, Y轴)

样品交换

气锁样品交换仓

探针镜台
(基础镜台)

行程范围

每个位置 ±5 mm

行程位置

检测/样品交换/探针大致对中齐/探针交换

电子光学系统

电子枪

冷场电子发射源

加速电压

0.5 kV - 5 kV(EBAC模式(*):zui大30 kV)

图像位移

±100μm 或更长(2 kV,WD=15 mm)

EBAC放大器(*)

电流放大器,差分放器

图像显示

扫描电子显微镜/ EBAC(*)(单一/平行/覆盖),上面和侧面CCD摄像头

真空系统

自动系统

显示器

液晶显示器


 

外形尺寸和重量

项目

(W)x(D)x(H)

重量

镜筒单元1,190 x 1,377 x 1,605mm780kg
显示单元1,000 x 960 x 1,200mm205kg
EBAC单元(*)600 x 1,000 x 1,760mm150kg

安装条件

项目

描述

室温15~25deg.
湿度60% RH(相对湿度)或更低
电源单相 AC100V±10%, 5kVA
接地D级(100ohm 或更小)


(*):选购件
 

可选购附件

  • 高分辨率修正
  • 样品加热台
  • 机械卡盘架
  • 单元计数功能
  • CAD导航系统(故障分析导航系统)

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