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(1) 在背板上电源插座插好电源线、四探针头连接线,检查保险丝管有无松动。
(2) 打开背板上的电源开关(将I按下)此时面板上的数字表及各控制开关上均有指示灯点亮。
(3)从左向右,察看控制开关,先将电流换档开关置于“1mA”, 在测硅片、硅块时ρ/R置于“ρ”, 在测方块电阻时ρ/R置于“R”,校准/测量档选在“校准”。
(4)将四探针头压在样品上,此时数字表上显示的是测量电流;
如选用间距为1.00mm的四探针头,
在10 mA档时,调节粗调、细调旋钮,使数字表显示6.28,即I=6.28mA。
在1 mA档时,调节粗调、细调旋钮,使数字表显示62.8,即I=0.628mA。
如选用间距为1.59mm的四探针头,
在10 mA档时,调节粗调、细调旋钮,使数字表显示10.0,即I=10mA。
在1 mA档时,调节粗调、细调旋钮,使数字表显示100.0,即I=1mA。
(5)将zui右边的按钮按下,测量灯亮。此时数字表上显示的是欲测样品电阻率,样品电阻率在1.0Ω·cm至199.9Ω·cm之间均可用此档(1mA)测量,如数字表显示1,后三位全不显示时,表示材料电阻率大于200Ω·cm。
(6)电流选择
电阻率≥1Ω·cm时选用1mA档测量。
方块电阻≥10Ω/□时选用1mA档测量。
电阻率≤1Ω·cm时选用10mA档测量。
方块电阻≤10Ω/□时选用10mA档测量。
例如:选用间距为1.00mm的四探针头, 当电流换档开关按到10mA档灯亮,将测量/校准开关按至“校准”灯亮,调节下面的粗、细调旋钮,使数字表显示6.28,此时测量电流即为6.28mA。将测量/校准开关按至测量时灯亮,此时读出的数即是电阻率值,测量范围在0.01至1.00Ω·cm,如数字表显示0.00时,即表示材料电阻率很低,已小于0.01Ω·cm。
测量硅片电阻率时,请先用卡尺测出厚度,再在校准档按附表调节好电流后,转到测量档即可方便读出电阻率数。
文章来源:北京绿野创能机电设备有限公司
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