KEYENCEFU系列传感器技术专栏
在 8 mm 至 30 mm 的距离间，高精度检测
8 至30 mm 之间，到玻璃基板的距离即使变化，
也可实现定位精度控制在0.2 mm 以下。
如下图所示，通过减小光的开口，提高从箭头方向开始的定位精度。
* FS-V30 系列 TURBO 模式 APC OFF 时
* FU-38S 在距离 5 mm 至 17 mm 的情况下，是 0.2 mm 以下的定位精度。

1 清洗装置
2 扩散炉
清洗槽的液位管理
检测盒子
入口的安全确认
检测浮标式流量计的浮标
盒内的映射
检测 Fork（福克）工件
检测晶硅的碎片/ 裂痕
检测裂痕/ 残缺/ 碎片
冷却水备用槽的液位管理
通过可视口检测工件是否存在
透过可视口检测工件存在与否
确认气压恢复
硅片有无的确认
送料器的除电
刮板和玻璃的调整
入口的安全措施
确认盒内的硅片位置
检测托盘
确认搬运时架子的姿势
检测多层差异
晶硅装载吸附搬运
玻璃粘在一起之前的定位
检测色带的断开/ 褶皱
检测移载机械臂周围进入的物体