摘要采用激光诱导击穿光谱法(LIBS)对共蒸发法制备的涂Mo钠钙玻璃上的CuIn1-xGaxSe2 (CIGS)吸收层进行了元素分析。研究了LIBS检测1.23μm厚的CIGS吸收层的激光和检测参数。Ga/In比值与x射线荧光和电感耦合等离子体发射光谱测量的浓度比值的校准结果具有良好的线性关系。

介绍了LIBS法在CIGS吸收层材料成分分析中的应用。使用Nd:YAG激光器LIBS检测CIGS薄膜的z+u+i优检测条件为激光脉冲能量0.9mJ，光斑直径150μm，门延迟为0.7μs，门宽为3 μs。测定的Ga/In比值LIBS信号与Ga浓度呈良好的线性关系。尽管XRF或ICP-OES测量的参考浓度值存在不确定性，但这些初始数据表明LIBS可以作为CIGS太阳能电池行业中实时监测材料成分的一种可行技术。通过使用已知成分的样品，可以降低参考浓度的不确定度。