LA仪器几乎无需样品制备，提供了分析固体样品的能力。当与ICP-MS仪器结合使用时，该技术检出限可达ppb及ppb以下。LA-ICP-MS可用于整体分析、深度剖面分析、元素/同位素制图或定量分析。

激光烧蚀(LA)是一种直接固体取样技术，使用激光脉冲从感兴趣的样品中去除少量质量(pg～fg)。LA与电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)的结合为固体样品的分析提供了非常有吸引力的技术优势，包括几乎不需要样品制备，高精度的测量，以及与其他原子光谱方法相比优越的灵敏度(低至ppb水平)。LA-ICP-MS分析还提供元素和同位素信息。根据所采用的激光取样方法，LA-ICP-MS可以用于传统的整体分析，也可以用于空间解析分析，如元素/同位素制图和深度剖面分析。