由于真空紫外及软X-RAY 与可见光及红外波段在很多光学传输性质上的不同,比如,需要真空环境,很低的反射率,无合适的“透明”折射率材料,成像困难,与物质相互作用时,表现出高能粒子的特性,少有衍射 等等。 由于其以上的种种特性,在其光谱仪的设计上,一般需要遵循尽量减少光路中的反射元件,以及采取掠入射等原则。
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